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“钼”成300层+NAND必选项 机构：沉积设备迎10亿美元增量市场_我的网站

A |     　　当地时间8月23日，半导体行业研究机构SemiAnalysis发文称，NAND闪存制造正从钨转向钼，因为当NAND来到300层以上，钼是必选项。          　　今天，记者从山东省统计局、国家统计局山东调查总队获悉，今年前7个月，我省坚持稳中求进、提质增效，全力以赴稳经济、增动能、激活力，全省经济持续稳健向好、进中提质、承压前行。

B | 　　SemiAnalysis分析，3D NAND闪存堆叠层数突破300层后，钨字线在电阻、化学兼容性和深孔填充三方面均触及物理极限，钼成为强制替代材料。三星已于2024年量产，美光2025年跟进，SK海力士计划2026年底推出375层钼工艺产品。     　　生产供给平稳增长。工业实现较快增长。1-7月，规模以上工业增加值同比增长7.2%。其估计，钼在NAND总产能中的占比将从2025年的中个位数百分比，增长至2027年的约30%。从行业增长面看，全省41个行业中有32个实现增长，增长面为78.0%。

C | 　　更进一步的，该机构提出，钼沉积设备将在明年迎来超10亿美元的新增市场。　　该机构称，每一次从钨到钼的转换，都意味着需要新的沉积设备。SemiAnalysis估计，仅2027年一年，NAND钼沉积设备的销售额就将超过10亿美元，并随着DRAM和逻辑芯片的跟进，到2030年增长至约20亿美元/年。　　受益格局方面，Lam Research（泛林集团）最先获益，TEL（东京电子）紧随其后；AMAT（应用材料）、ASMI（ASM国际）及Naura（北方华创）则更多受益于后续DRAM和逻辑芯片的转型浪潮。SemiAnalysis表示，完整的细分市场层面测算已纳入其前道设备（WFE）模型。服务业运行稳健。

D | 1-6月，规模以上服务业企业营业收入同比增长5.6%。

E | 　　钼渗透率在高层数NAND中提升，本质是为延续NAND单位Bit成本下降曲线。10大行业门类全部实现增长，其中，居民服务、修理和其他服务业，租赁和商务服务业营业收入分别增长12.3%、9.0%。     　　市场需求有序释放。　　300层NAND主要在结构上升级，聚焦超高深宽比通道孔刻蚀、多次Stack堆叠、晶圆翘曲控制以及Overlay精度控制。消费市场稳中向好。　　375层乃至400层以后，材料亟需升级，因钨字线会因为字线间距通道孔缩小面临RC延迟快速恶化、WF残氟导致介质损伤、漏电失效率提升以及填充缺陷放大的问题。

F | 而钼凭借更低电阻率、无氟前驱体及无需阻隔层等优势，有望改善RC性能与器件可靠性，为字线和存储孔缩放提供工艺余量，从而延续高层数NAND的成本下降曲线。

G | 　　中银证券表示，SK海力士已完成375层3D NAND生产验证并计划2026年底量产，拟采用钼材料替代钨制作字线，继三星在286层第九代3D NAND中率先导入钼工艺后，两大存储龙头相继切换，钼替代钨趋势确立。1-7月，社会消费品零售总额同比增长2.7%。　　然而，钼的材料加工更为复杂，因为必须以气体形式输送，且前驱物在室温下为固体，需要加热器以确保流动稳定性。　　基于此，300层以上3D NAND字线由钨切换为钼，并不是简单更换靶材或者更换气体材料，而是前驱体供给、ALD沉积腔体、刻蚀、清洗、尾气处理整套工艺链条的重构，原有钨CVD产线硬件无法直接复用，将直接推动晶圆厂资本开支上行，同时设备、特种材料、零部件均迎来变化。进出口规模持续扩大。

H | 1-7月，实现进出口总额21244.2亿元，同比增长4.3%。     　　新动能支撑有力。　　爱建证券表示，钼导入本质是一次全流程工艺重构，设备链受益有望沿“沉积及前驱体输送→CMP及清洗→刻蚀→量检测”路径传导，工艺难点由沉积向后处理环节延伸。工业动能向新明显。1-7月，规模以上装备制造业增加值同比增长11.5%，高技术制造业增加值增长12.9%，分别高于全部规上工业增速4.3、5.7个百分点。其中——　　沉积：成熟的WF钨工艺，Mo沉积需重新建立高深宽比结构下的填充与缺陷控制工艺窗口，同时有望减少阻隔层使用，带动沉积设备及配套工艺升级；　　输送：Mo前驱体通常采用低挥发性固态源，与传统WF气态前驱体体系差异较大，需要新增气化装置、温控管路及精密供气系统，以保障前驱体稳定输送；　　CMP：Mo材料的氧化及表面化学特性不同于传统金属体系，需重新开发CMP研磨液和研磨垫，以满足平坦化、去除速率及缺陷控制要求；　　清洗：Mo导入后残留物及氧化物体系发生变化，高深宽比结构下金属残留和污染控制难度提升，有望推动相关湿法清洗设备及配套化学品验证导入；　　刻蚀环节则需重新建立适配钼材料的工艺窗口，且3DNAND层数持续提升下，刻蚀选择性、侧壁形貌控制及层间均匀性要求进一步提高，有望带动相关刻蚀设备升级需求；　　量检测：Mo量产还需新增膜厚均匀性、填充缺陷、金属残留及电学可靠性等监控项目，有望带动薄膜量测、缺陷检测及电性测试等设备需求增长。消费新业态发展良好。

I | 　　该机构称，NAND工艺迭代核心从单纯堆叠层数转向材料—设备—工艺协同创新，新材料导入将持续催生沉积、刻蚀、清洗等关键设备迭代升级，Mo字线导入将推动沉积、刻蚀、清洗等关键环节工艺升级，相关设备及零部件厂商有望受益。

J | 1-7月，限额以上单位通过公共网络实现的零售额1587.9亿元，增长25.1%，高于全部限上零售额增速23.8个百分点。（文章来源：科创板日报）。     　　经济运行韧性显现。财政金融保障有力。

K | 1-7月，全省实现一般公共预算收入5240.1亿元，同比增长1.8%。民营经济活力充沛。1-7月，民营企业实现进出口1.63万亿元，增长5.3%，占全省进出口总额的76.8%。     　　民生保障持续加强。就业形势总体稳定。1-7月，全省城镇新增就业80.0万人，增长5.7%。民生领域保障有力。1-7月，卫生健康支出增长13.3%，社会保障和就业支出增长3.3%。

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Published on:00:15:52